晶圓檢測系統

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產品名稱: 晶圓檢測系統

產品型號: 7940

產品展商: Chroma

產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

可同時檢測正反兩面晶圓 *大可檢測6吋擴膜晶圓 (檢測區域達8吋范圍) 可因應不同產業的晶粒更換或新增檢測項目上片后晶圓自動對位機制自動尋邊功能可適用于不同形狀之晶圓瑕疵規格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規格瑕疵檢出率高達98% 可結合上游測試機晶粒資料，合并后上傳至下一道制程設備提供檢測報表編輯器，使用者可自行選擇適用資料并進行分析

晶圓檢測系統 的詳細介紹

產品特色

可同時檢測正反兩面晶圓
*大可檢測6吋擴膜晶圓 (檢測區域達8吋范圍)
可因應不同產業的晶粒更換或新增檢測項目
上片后晶圓自動對位機制
自動尋邊功能可適用于不同形狀之晶圓
瑕疵規格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規格
瑕疵檢出率高達98%
可結合上游測試機晶粒資料，合并后上傳至下一道制程設備
提供檢測報表編輯器，使用者可自行選擇適用資料并進行分析

Chroma 7940晶圓檢測系統為自動化切割后晶粒檢測設備，使用先進的打光技術，可以清楚的辨識晶粒的外觀瑕疵。結合不同的光源角度、亮度及取像模式，使得7940可以適用于LED、雷射二極體及光敏二極體等產業。

由于使用高速相機以及自行開發之檢測演算法，7940可以在3分鐘內檢測完6吋LED晶圓，換算為單顆處理時間為15msec。7940同時也提供了自動對焦與翹曲補償功能，以克服晶圓薄膜的翹曲與載盤的水平問題。7940可配置2種不同倍率，使用者可依晶粒或瑕疵尺寸選擇檢測倍率。系統搭配的*小解析度為0.5um，一般來說，可以檢測1.5um左右的瑕疵尺寸。